超高真空闸阀

操作环境限于空气、惰性气体及真空环境。

超高真空闸阀主要由三个组件组成：分别为驱动器、阀门与阀体;接口端可配置KF、ISO、ANSI与CF法兰。

应用

超高真空闸阀适用于真空排气系统，超高真空应用的抽气系统，半导体技术，同步辐射中心与学术研究系统等。

特点

●　 设计可靠、成熟

●　 不含润滑剂，最高可烘烤至250℃

●　 金属阀帽密封

●　 具有自动防故障功能

●　 不锈钢阀体

●　 进给机构以焊接金属波纹管密封